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Prober Shuttle PS8, 超緊湊的 PS8可安裝多達(dá)八個(gè)MM4 微機(jī)械手以及一個(gè)三軸子平臺(tái)?？捎糜诎雽?dǎo)體材料，器件，結(jié)構(gòu)等電學(xué)性能分析。
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